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1. IBM 是用水取代 Polish(CMP) slurry, 是屬於 costdown. 2. 此技術如各位先進所言, 為 Recycle or Reclaim 的範疇, 此廢晶圓是回收為晶圓廠之 Dummy wafer. 3. 至於廢晶圓回收當作太陽能矽材拉晶, 則用化學槽或噴砂方式處理成裸矽. 以上個人淺見, 若您們有興趣要拿一片廢晶圓(碎片也行)作噴砂, 我們公司剛好可以作實驗. e-mail: sis2308@yahoo.com.tw
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