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問題： 誰可以解釋護層沉積跟金屬護膜?(急交報告用..) 發表時間： 2007/11/12 下午 7:30
 

提問者： 菜鳥小妹什麼都不懂

等級： 鐘點工讀生

積分： 105 分

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誰可以解釋護層沉積跟金屬護膜(要最正確的)，哪個好心的人可以解釋給我聽
經理上課我聽不懂但是又要交報告>"<
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第 1 樓 回覆主題：誰可以解釋護層沉積跟金屬護膜?(急交報告用..) 發表時間： 2007/11/13 上午 9:16
 

提問者： Administrator

等級： 研發總經理

積分： 5966 分

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這好像是屬於物理化學(偏製程方向的) 可發問在別版比較好喔!
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第 2 樓 回覆主題：誰可以解釋護層沉積跟金屬護膜?(急交報告用..) 發表時間： 2007/11/23 下午 12:19
 

提問者： Iain

等級： 鐘點工讀生

積分： 22 分

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Dear 菜鳥小妹 金屬護膜, 指的是在積體電路 IC 的製程上幾近最後面的一道製程, 就是在金屬連線上面蓋上一層保護膜, 通常是 SiO2 二氧化矽和 SiN 氮化矽, 以避免金屬層或以下的元件遭受氧化, 濕氣侵襲或污染 護層沉積, 指的就是把護層沉積在金屬連線上面的製程技術簡稱 希望對妳有幫助
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第 3 樓 回覆主題：誰可以解釋護層沉積跟金屬護膜?(急交報告用..) 發表時間： 2007/11/24 下午 6:17
 

提問者： 尚暉

等級： 鐘點工讀生

積分： 11 分

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其實只要過一點酸 or CVD 高能量氧原子 氮分子 就可以氧化矽原子 難在怎樣均勻
控制厚度
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