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問題： 怎樣 Depo 出來的 film 是好的! (運用在Laser CVD機台上) 發表時間： 2008/7/7 下午 6:00
 

提問者： chi

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從表面外觀如何確定 FILM的好壞呢?或是需要切 SEM 呢?才可以得知 FILM好壞。
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第 1 樓 怎樣 Depo 出來的 film 是好的! (運用在Laser CVD機台上) 發表時間： 2008/7/8 上午 9:48
 

提問者： 懶骨頭

等級： 鐘點工讀生

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我想要看你想要的film的性質吧,跟要求..
一般切SEM只能知道他的表面性質怎樣,太微觀的東西看不出來的...
通常就是從附著性,光學膜就看穿透反射率,導電膜看電阻吧...
絕緣層就看電性囉...大多會從光電性質去判斷...
還是真的有方法可以判別嗎?..請不吝指教
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第 2 樓 回覆主題：怎樣 Depo 出來的 film 是好的! (運用在Laser CVD機台上) 發表時間： 2008/7/8 上午 10:23
 

提問者： chi

等級： 鐘點工讀生

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謝謝 大大的回答 1.小弟所使用之機台是利用 UV Laser 打在 WCO6 成份上所沉積的FILM 。 2.我的想法是可以利用簡單的正背光去觀看 Film 的成膜狀態是否好，當然若要用特殊儀器去量測阻抗和切SEM 的話或許可以看得出來 FILM 的好壞。
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第 3 樓 回覆主題：怎樣 Depo 出來的 film 是好的! (運用在Laser CVD機台上) 發表時間： 2008/8/27 上午 10:11
 

提問者： shaspire

等級： 副工程師

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使用光譜儀檢測比對或一般以百格刀切割及3M#600膠紙黏貼測試不剝落達5B標準為測試方法！
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