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問題: 想在無塵室中目檢浮塵粒子的來源 發表時間: 2008/10/17 下午 2:05
 

提問者: Sam Huang

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一般在無塵室中要知道潔淨度水準通常是用微塵檢測器來量測,有沒有什麼工具可以戴在頭上直接肉眼觀察空氣中漂浮的微粒狀況?
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第 1 樓 回覆主題:想在無塵室中目檢浮塵粒子的來源 發表時間: 2008/10/17 下午 4:13
 

提問者: 倉月

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這各問題可能要問小叮噹
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第 2 樓 回覆主題:想在無塵室中目檢浮塵粒子的來源 發表時間: 2008/10/17 下午 9:38
 

提問者: 朝河蘭

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看得到就不是particle!但是由檢知監控系統佈局可為您除去這種麻煩,為您在已設定的區域的每一點收集數量,以便您在室外檢出監控,改善及分析並排除浮塵粒子及估算機組運行時需使用ION BAR的數目及功率輸出. 攜帶式檢知器可與上述的系統作稽核比對,亦可即時顯示監控環境及記錄,方便上傳電腦作記錄及簡報. 潔淨室中,人是最大污染源,人員物料進出動線的管制,氣流循環保養,機台定期清潔及習慣養成等等,亦為降低浮塵粒子不二方式.
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第 3 樓 回覆主題:想在無塵室中目檢浮塵粒子的來源 發表時間: 2008/10/20 上午 9:38
 

提問者: Sam Huang

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無塵室內需要很嚴謹的管理規則並切實遵守規定,只是目前碰到棘手問題是再怎麼清掃或防範,雖然檢測值都很漂亮,可是就還是看得到微塵,所以才想說有沒有辦法觀測到微塵的來源。
我曾經看過在暗房內用打燈光的方式可以看到漂浮或產生的浮塵粒子,也用過戴偏光護目鏡可以看到非可見光的雷射,所以才想說是否有類似的東西可以用?
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第 4 樓 回覆主題:想在無塵室中目檢浮塵粒子的來源 發表時間: 2008/10/20 上午 10:45
 

提問者: 朝河蘭

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所以你需要層別問題的始末,通常環境監控與各廠稽核屬於互不隸屬的單位,這樣取樣是可驗證的公正.

而排除了環境則進入製程設備的層別,通常除直接與間接人員的區域區隔或設立屏幕隔離工作區後,從艙內的加熱及排氣與供氣及抽氣逐一層別,你可把投產物件上的微塵作物質化驗,
例如有橡膠反應則可能銜接噴嘴密封環酚化未更新陸續噴出,
或者顆較大的肉眼能辨識的ducts,可能於氣體管路設置後一段時間後,因持續使用將殘存未清除物質噴出,氮氣Purge幾個小時後再量測(記得開幅過大是反效果),
或者幫浦或排氣管路因抽續不良阻塞造成回流,準備預留管,PM時間到就更換送洗,
或者艙內剝落物形成Particle High,PM時間到就更換送洗,
也有可能零件設計缺陷需改造重工,防止堆積影響投產,
閥件老舊等因素逐一排除問題,

機台穩定後則將列表記錄,定義保養時程,便可減少以目檢這般不必要的困擾!
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第 5 樓 回覆主題:想在無塵室中目檢浮塵粒子的來源 發表時間: 2008/10/20 上午 10:58
 

提問者: Sam Huang

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感謝大哥您提供這麼多豐富的建議,我們會試著以您提供的方向去層別與分析,謝謝啦。
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