提問者:
朝河蘭
等級:
工程師
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所以你需要層別問題的始末,通常環境監控與各廠稽核屬於互不隸屬的單位,這樣取樣是可驗證的公正.
而排除了環境則進入製程設備的層別,通常除直接與間接人員的區域區隔或設立屏幕隔離工作區後,從艙內的加熱及排氣與供氣及抽氣逐一層別,你可把投產物件上的微塵作物質化驗, 例如有橡膠反應則可能銜接噴嘴密封環酚化未更新陸續噴出, 或者顆較大的肉眼能辨識的ducts,可能於氣體管路設置後一段時間後,因持續使用將殘存未清除物質噴出,氮氣Purge幾個小時後再量測(記得開幅過大是反效果), 或者幫浦或排氣管路因抽續不良阻塞造成回流,準備預留管,PM時間到就更換送洗, 或者艙內剝落物形成Particle High,PM時間到就更換送洗, 也有可能零件設計缺陷需改造重工,防止堆積影響投產, 閥件老舊等因素逐一排除問題,
機台穩定後則將列表記錄,定義保養時程,便可減少以目檢這般不必要的困擾!
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